半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D
规格
型 号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度 （单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内